上海:打造芯片制造全流程数字孪生仿真验证平台

导读 上海市政府印发《上海市进一步推进新型基础设施建设行动方案(2023-2026年)》,其中提出,打造芯片制造全流程数字孪生仿真验证平台。...

上海市政府印发《上海市进一步推进新型基础设施建设行动方案(2023-2026年)》,其中提出,打造芯片制造全流程数字孪生仿真验证平台。围绕半导体制造工艺中所需的各类设备及工业软件自主可控需求,支持有关新型研发机构联合国内主要晶圆厂共同打造晶圆产线全数字化仿真平台,模拟各种工艺下真实产线的生产运行环境,为自主可控设备及软件产品测试提供低成本、低门槛、定制化的第三方验证服务,加速自主可控设备及软件替代使用与更新迭代。

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