利用电路将电源电压升高，转变为成千上万伏的高压直流，供给高压放电管（一种生产臭氧的器件）电离空气中的氧，产生臭氧杀菌。

也可以简单使用两块平行靠近、带许多放电尖端金属板做电离器件。

生产臭氧的原理一样，高压电离空气。

臭氧是具有极强氧化性的气体，利用其氧化性杀菌。

臭氧能与细菌细胞壁脂类双键反应, 穿入菌体内部，作用于蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，从而导致细菌死亡。

臭氧还作用于细胞内的核物质，如核酸中的嘌呤和嘧啶破坏DNA。